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总投资3.6亿元,年产6万大片!维信诺的硅基OLED也要来了

编辑:chinafpd 2020-05-13 14:14 浏览 评论 0 赞    来源:  中华显示网

4月7日,“昆山梦显电子科技有限公司OLED微显示器生产项目”在昆山市人民政府网站上进行了环境影响评价报批前公示。

公示文件指出,昆山梦显电子科技有限公司成立于 2018 年 12 月,企业位于江苏省昆山高新区晨丰路 188号 3 号房,属昆山维信诺科技有限公司子公司。公司经营范围:平板显示器件的研发、生产、销售;电子产品及其零配件、电子专用材料的销售及组装,并提供售后及相关咨询服务;货物或技术进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)。公司拟在昆山高新区晨丰路 188 号 3 号房投资 3.6亿元整,进行 OLED 微显示器生产项目,拟购置大蒸镀设备、清洗机等设备。项目完成后,预计年产 OLED 微显示器 60000 大片。

图片来源:昆山市人民政府网

图片来源:昆山市人民政府网
 

工艺流程说明:

图片来源:昆山市人民政府网

工艺流程说明:

(1)清洗烘干

利用蒸镀前清洗机清洗掉背板上沾染的少量灰尘颗粒物,清洗过程中不添加酸、碱等清洗剂、添加剂等化学试剂,清洗流量为30L/min,年清洗时间为2400h/a,清洗用纯水定期更换,此过程会产生清洗水;

(2)蒸镀

小分子有机薄膜采用真空蒸镀法沉积成膜。其具体操作是在真空中加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料,使其原子或分子从表面气化逸出,形成蒸汽流,入射到Wafer的表面,凝结形成固态薄膜,加热方式为电阻丝加热,根据不同材料温度设置在100-400℃之间。本项目蒸镀工艺中,各种有机材料HIL、NPB、HD及红、蓝、绿发光有机材料大部分通过加热蒸镀到器件上,成为器件(产品)的组成部分;微量蒸镀到真空腔室的内璧,通过无尘布用无水乙醇擦拭,蒸镀设备真空泵需定期更换真空泵油,此过程会产生擦拭废布、真空泵油、噪声;

(3)ALD沉积、CVD沉积

东京1.5分彩登陆 原子层沉积(Atomiclayerdeposition)是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法;化学气相沉积(CVD)是指将两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内,然后他们相互之间发生化学反应,形成一种新的材料,沉积到晶片表面上的方法,该过程原子层沉积设备、化学气相沉积设备,在450℃的高温下,通过流量控制器精准控制加入三甲基铝、四氯化钛、SiH4、NH3、N2、O2、N2O、NF3等气体,在电场作用下进行等离子体放电发生化学反应并进行薄膜的沉积,本项目根据不同工艺要求需进行加热,ALD沉积采用电阻丝加热,温度为90℃,CVD沉积采用温水间接加热,温度为80℃。

ALD沉积原理为:三甲基铝经过氧化形成三氧化二铝薄膜层,副产物为二氧化碳和氢气,未反应的三甲基铝为有毒气体,连同气态副产物最终以有毒废气的形式通过POU设施处理,再经过布袋除尘设施和喷淋塔处理后外排,三甲基铝为易燃气体,基本完全燃烧;

CVD沉积原理为:通过反应气体NH3、SiH4、NF3(携带气体N2、H2、Ar)的化学反应,在基片上沉积氧化硅,氮化硅作为绝缘层、钝化层薄膜。在CVD工序的反应器中,反应气体与携带气体不断流过反应室,大部分反应气体经过反应消耗并生产气态副产物,未反应的气体由于混入大量废气,成分复杂,难以回收利用,通过排气管道排到特殊的气体处理设备(scrubber)以天然气为燃烧源进行燃烧处理,尾气再通过布袋除尘设施和喷淋洗涤塔处理。主要反应式如下:

(4)点胶、贴合、固化

把镀膜后的基片(膜层向内)和无导电层的基片用封装胶进行点胶,之后用紫外线(固化),在此过程中UV胶全部进入产品,此过程会产生噪声,废包装桶;

(5)切割打线

将制得的显示器件按需要切割成为显示屏成品。在电子模块工作间,将外购的电路板和芯片等焊接,并与显示屏相连,制得最终的显示器成品,此过程会产生噪声、废玻璃;

(​6)测试、模组

显示器经过测试模组后即为成品,测试过程中会产生不合格品,经过重复修复后即可,此工序会产生噪声。

东京1.5分彩登陆 在生产过程中,治具上会沾染到油污、灰尘等杂质,需利用Mask清洗机及SMIF清洗机进行浸泡清洗,清洗用到N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、异丙醇、丙酮、乙醇等有机溶剂,此过程会产生废有机溶剂和有机废气。

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